Аннотация: Обсуждаются проблемы совместного моделирования процессов релаксации емкости барьерной микроэлектронной структуры и аппаратных преобразований слабых релаксационных сигналов.
Annotation: The problems of joint modeling of the relaxation processes of the capacitance of the barrier microelectronic structure and the hardware transformations of weak relaxation signals.
Ключевые слова: релаксационная спектроскопия глубоких уровней (РСГУ), корреляционная обработка, частотный скан
Keywords: deep-level transient spectroscopy (DLTS), correlation processing, frequency scan
Полный доклад доступен по ссылке.